無油真空泵就真的無油嗎?你能想象一件機械傳動設備在無油下的運行狀態嗎?想必這種設備不會有多長的使用壽命吧!

由無油真空泵的定義得知, 為滿足良好的環境，其抽氣腔是無油的。但機械傳動部分還需油類潤滑, 例如多級羅茨泵、爪型泵和螺桿型干式泵等。其傳動齒輪的軸承都需要潤滑。利用迷宮式密封結構, 去隔離泵腔和齒輪箱等部位, 比較簡單的方法是在泵腔和需要潤滑的部位之間充入干燥的惰性氣體, 或安裝密封圈。

特別是羅茨泵，一定要有良好的防返流措施才行，大部分羅茨泵在低壓下使用，而迷宮式結構能防止潤滑油進入泵腔, 但有可能使氣體通過, 因為齒輪箱中的氣體壓力不受限制, 如果齒輪箱內的氣體壓力大于泵腔內的壓力, 有壓力梯度存在就會出現齒輪箱內油蒸汽向泵腔內的擴散。因此對羅茨泵的結構設計要好好考慮, 將齒輪箱中的油池面上,進行減壓預抽, 控制齒輪箱中的氣體壓力, 并通過唇形密封圈, 將油池與泵腔隔離，避免污染被抽氣體。